Система плазмохимического осаждения PlasmaPro 800 PECVD

Система спроектирована для получения высококачественных равномерных покрытий. Контроль поверхностного напряжения пленок в системе PlasmaPro800 PECVD осуществляется при помощи воздействия плазмы низкой или высокой частоты. Существует возможность получения пленок с растягивающим, сжимающим и минимальным поверхностным напряжением.

Технологические особенности системы:

• размер обрабатываемых пластин до 300 мм;
• высокая производительность процессов;
• компактность;
• превосходный температурный контроль подложек;
• точный контроль параметров процесса;
• контроль конечной точки травления для обеспечения повышенной надежности и удобства эксплуатации;
• широкий диапазон размеров партий пластин и электрода;
• низкая себестоимость продукции;
• 4, 8 или 12 газовых линий для технологических процессов, причем баллоны с газами могут располагаться в сервисном помещении.

Размеры обрабатываемых партий пластин:

• 50 мм / 2" - >43​ пластин;
• 100 мм / 4" - 12​ пластин;
• 150 мм / 6" - 5 пластин;
• ​200 мм / 8" - 2 пластин;
• 300 мм / 12" - 1 пластина.