Лазерный сканирующий 3D микроскоп Keyence VK-X100/X200

Keyence серии VK-X100/X200 - приборы, сочетающие в себе удобство цифрового оптического микроскопа, точность (высокие разрешение и глубина резкости), характерную для электронного микроскопа, и широкие возможности, присущие бесконтактному лазерному профилометру.

Keyence серии VK-X100/X200 — приборы, сочетающие в себе удобство цифрового оптического микроскопа, точность (высокие разрешение и глубина резкости), характерную для электронного микроскопа, и широкие возможности, присущие бесконтактному лазерному профилометру.

Программное обеспечение семейства VK VK-X100/X200 легко в использовании, имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет:

Измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного пользователем профиля в разрезе;
Выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрия, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта
измерить объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов; Проводить автоматические измерения высоты и ширины структур;
Сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов;


Выполнение бесконтактных измерений профиля и шероховатости практически любых материалов.

  • Апохроматические объективы 10х, 20х, 50х/0,95, 150х/0,95
  • Моторизованный оптический zoom от 1х до 8х
  • Суммарное увеличение до 24.000х*
  • Разрешение по Z — 0,0005мкм (повторяемость σ 0,012мкм**)
  • Диапазон измерений по Z – 7мм
  • Разрешение по XY — 0,001мкм (повторяемость 3σ 0,02мкм***)
  • 1/3” цветная CCD камера со сверх высоким разрешением (3072х2304).
  • Увеличение объектива 150х, соотношение размеров матрицы и монитора 20х даёт увеличение 3000х + промежуточный оптический ZOOM даёт увеличение до 8х, итого 24000х крат
  • Повторяемость σ определялась экспериментально путём многократного измерения стандарта глубины 2 мкм (объектив 50х/0,95)
  • Повторяемость 3σ определялась экспериментально путём многократного измерения дифракционной решетки (расстояние между линиями на стандартном образце 1 мкм, объектив 150х/0,95)