Система фокусированного ионного пучка V400ACE
V400ACE™ разработана специально для для модификации схем и анализа отказов. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает высокопроизводительную и точную обработку образца, а также дает изображения в высоком разрешении.
В электронике встречаются только две проблемы - наличие контакта там, где его быть не должно, и отсутствие контакта там, где он должен быть. Система фокусированного ионного пучка V400ACE™ способна решить их обе путем прямого доступа к кристаллу и прецизионных операций травления/сварки/резки и т.д.
Прибор оборудован высокоточным пятикоординатным 4-дюймовым столиком.
Уникальная система доставки газов nanoChemix™ максимально эффективно доставляет и хранит до пяти реагентов.
Революционный детектор ICE позволяет регистрировать вторичные электроны и ионы, дополняя классический сцинтиляционный детектор конвертером ионов и фронт-енд предусилителем.
V400ACE может быть оборудована для обработки тыльной стороны подложки, с дополнительным ИК микроскопом и комплектом для создания канавок в кремнии.
- Дополнительный ИК микроскоп и система травления канавок;
- Нейтрализатор заряда;
- Программные дополнения, например CAD навигация.
- Предельное разрешение: 5 нм;
- Ток пучка: 1 пА-65 нА;
- Инжекция газовых реагентов: XeF2, H2O, O2, Cl2, W, TMCTS.