V400ACE

V400ACE™ разработан специально для для модификации схем и анализа отказов. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает высокопроизводительную и точную обработку образца, а также дает изображения в высоком разрешении.

В электронике встречаются только две проблемы — наличие контакта там, где его быть не должно, и отсутствие контакта там, где он должен быть. V400ACE™ способен решить обе из них путем прямого доступа к кристаллу и прецизионных операций травления/сварки/резки и т.д.
Прибор оборудован высокоточным пятикоординатным 4-дюймовым столиком.
Уникальная система доставки газов nanoChemix™ максимально эффективно доставляет и хранит до пяти реагентов.
Революционный детектор ICE позволяет регистрировать вторичные электроны и ионы, дополняя классический сцинтиляционный детектор конвертером ионов и фронт-енд предусилителем.
V400ACE может быть оборудован для обработки тыльной стороны подложки, с дополнительным ИК микроскопом и комплектом для создания канавок в кремнии.

  • дополнительный ИК микроскоп и система травления канавок
  • нейтрализатор заряда
  • программные дополнения, например CAD навигация
Предельное разрешение​ 5 нм​
Ток пучка​ 1 пА — 65 нА​
Инжекция газовых реагентов​ XeF2, H2O, O2, Cl2, W​, TMCTS