Реактивное ионное травление селенида свинца (PbSe)

Реактивное ионное травление селенида свинца (PbSe), описание процесса и оборудование

Лаборатория OIPT: Глубокое (0,7 мкм) травление PbSe, фоторезист удален.

Производитель: Oxford Instruments Plasma Technology


Технологические особенности: реактивное ионное травление с помощью ВЧ генератора с параллельными электродами и частотой возбуждения плазмы - 13.56 МГц

Результаты:

  • Скорость: 50 - 100 нм/мин;
  • Маска: фоторезист;
  • Равномерность 5% (по пластине 75 мм;)
  • Селективность к фоторезисту 5:1;
  • Профиль анизотропный, слегка шероховатый.