Травление молибдена (Mo)

Анизотропное травление (профиль 80°) структуры Mo (160 нм)/Au (250 нм)/Mo (30 нм) (фоторезист не удален).

Анизотропное травление (профиль 85°) молибдена толщиной 200 нм при скорости травления 60 нм, фоторезист удален ультразвуком.

​
Травление золота распылением в среде аргона со скоростью 7 нм/мин.

Технологические особенности: реактивное ионное травление Mo во фторсодержащей среде.

Результаты:

• Скорость: 30-120 нм/мин;
• Профиль: анизотропный 80-87°;
• Равномерность 5%;
• Селективность к фоторезисту 1:1;
• Селективность к SiO₂ маске 10:1.